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十八世紀(jì)30年代,為了適應(yīng)鐘表、自行車、縫紉機(jī)和槍械等零件淬硬后的精密平面磨床加工,英國、德國和美國分別研制出使用天然磨料砂輪的精密平面磨床。這些精密平面磨床是在當(dāng)時現(xiàn)成的機(jī)床如車床、刨床等上面加裝精密平面磨床磨頭改制而成的,它們結(jié)構(gòu)簡單,剛度低,磨削時易產(chǎn)生振動,要求精密平面磨床操作工人要有很高的技藝才能磨出精密的工件。
1876年在巴黎博覽會展出的美國布朗-夏普公司制造的萬能外圓精密平面磨床,是首次具有現(xiàn)代精密平面磨床基本特征的機(jī)械。它的工件頭架和尾座安裝在往復(fù)移動的工作臺上,箱形床身提高了精密平面磨床剛度,并帶有內(nèi)圓磨削附件。1883年,這家公司制成精密平面磨床磨頭裝在立柱上、工作臺作往復(fù)移動的平面磨床。
1900年前后,人造磨料的發(fā)展和液壓傳動的應(yīng)用,對精密平面磨床的發(fā)展有很大的推動作用。隨著近代工業(yè)特別是汽車工業(yè)的發(fā)展,各種不同類型的精密平面磨床相繼問世。例如20世紀(jì)初,先后研制出加工氣缸體的行星內(nèi)圓磨床、曲軸磨床、凸輪軸精密平面磨床和帶電磁吸盤的活塞環(huán)磨床等。
自動測量裝置于1908年開始應(yīng)用到磨床上。到了1920年前后,無心精密平面磨床、雙端面精密平面磨床、軋輥精密平面磨床、導(dǎo)軌精密平面磨床,珩磨機(jī)和超精加工精密平面磨床等相繼制成使用;50年代又出現(xiàn)了可作鏡面磨削的高精度外圓磨床;60年代末又出現(xiàn)了砂輪線速度達(dá)60~80米/秒的高速精密平面磨床和大切深、緩進(jìn)給磨削平面磨床;70年代,采用微處理機(jī)的數(shù)字控制和適應(yīng)控制等技術(shù)在精密平面磨床上得到了廣泛的應(yīng)用。